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 Anisotropic etching of silicon in TMAH solutions TMAH溶液中硅的各向异性刻蚀
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期刊：Sensors and Actuators A-physical 作者：Osamu Tabata; Ryouji Asahi; Hirofumi Funabashi; Keiichi Shimaoka; Susumu Saito 出版日期：1992-07-01 |
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