Compact low-half-wave-voltage thin film lithium niobate electro-optic phase modulator fabricated by photolithography-assisted chemo-mechanical etching (PLACE)

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标题	Compact low-half-wave-voltage thin film lithium niobate electro-optic phase modulator fabricated by photolithography-assisted chemo-mechanical etching (PLACE) 光刻辅助化学机械刻蚀（PLACE）制备紧凑型低半波电压薄膜铌酸锂电光相位调制器相关领域光刻铌酸锂材料科学光学蚀刻（微加工）薄膜光电子学光调制器电光电压相位调制低压相（物质）电光调制器相位板集成光学纳米技术相位噪声激光器电气工程有机化学化学工程类物理图层（电子）
网址	https://opg.optica.org/ol/abstract.cfm?uri=ol-49-20-5783&ori...
DOI	10.1364/OL.538158 doi
求助人	隔水一路秋在 2024-10-29 09:37:05 发布自北京，悬赏 10 积分
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