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 Hydrogen Barriers Based on Chemical Trapping Using Chemically Modulated Al2O3 Grown by Atomic Layer Deposition for InGaZnO Thin-Film Transistors InGaZnO薄膜晶体管基于原子层沉积化学调制Al2O3化学俘获的氢势垒
相关领域
材料科学
氢
原子层沉积
薄膜晶体管
无定形固体
图层（电子）
阻挡层
化学工程
化学气相沉积
氧化物
化学浴沉积
纳米技术
薄膜
光电子学
结晶学
冶金
化学
有机化学
工程类
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期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Yujin Lee; Taewook Nam; Seunggi Seo; Hwi Yoon; Il‐Kwon Oh; et al 出版日期：2021-04-05 |
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