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 Flexible mirror micromachined in silicon 硅微加工柔性反射镜
相关领域
材料科学
光学
表面微加工
振膜（声学）
氮化硅
硅
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梳状致动器
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期刊：Applied Optics 作者：Gleb Vdovin; P. M. Sarro 出版日期：2009-01-17 |
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