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标题
Structure and Morphology of 4H-SiC Wafer Surfaces after H<sub>2</sub>-Etching
H2刻蚀后4H-SiC晶片表面的结构和形貌
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材料科学 X射线光电子能谱 薄脆饼 蚀刻(微加工) 退火(玻璃) 扫描电子显微镜 氧化物 低能电子衍射 化学气相沉积 分析化学(期刊) 基质(水族馆) 图层(电子) 各向同性腐蚀 复合材料 化学工程 衍射 纳米技术 电子衍射 光学 冶金 化学 工程类 地质学 物理 海洋学 色谱法
网址
DOI
10.4028/www.scientific.net/msf.483-485.761 doi
其它 期刊:Materials science forum
作者:S. Soubatch; Stephen E. Saddow; Shailaja P. Rao; W.Y. Lee; M. Konuma; et al
出版日期:2005-05-15
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