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Effect of plasma power on growth process, chemical structure, and properties of PECVD films produced from hexamethyldisilane and ammonia
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作者
Е. N. Ermakova,
Vladimir R. Shayapov,
Аndrey А. Saraev,
E. A. Maximovsky,
V. V. Kirienko,
M. N. Khomyakov,
V. S. Sulyaeva,
Aleksey Kolodin,
E. Yu. Gerasimov,
M. L. Kosinova
出处
期刊:
Surface & Coatings Technology
[Elsevier]
日期:2024-07-14
卷期号:490: 131131-131131
被引量:1
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2024.131131
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