Two-dimensional imaging and modification of nanophotonic resonator modes using a focused ion beam

谐振器 纳米光子学 光学 材料科学 聚焦离子束 离子束 梁(结构) 光电子学 光子学 离子 物理 量子力学
作者
William McGehee,Thomas Michels,Vladimir Aksyuk,Jabez J. McClelland
出处
期刊:Optica [The Optical Society]
卷期号:4 (11): 1444-1444 被引量:10
标识
DOI:10.1364/optica.4.001444
摘要

High-resolution imaging of optical resonator modes is a key step in the development and characterization of nanophotonic devices. Many sub-wavelength mode-imaging techniques have been developed using optical and electron beam excitation-each with its own limitations in spectral and spatial resolution. Here, we report a 2D imaging technique using a pulsed, low-energy focused ion beam of Li

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