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Effect of the deposition sequence of Ti and W on the Ni-based Ohmic contacts to n-type 4H-SiC

材料科学 欧姆接触 序列（生物学） 沉积（地质） 结晶学 纳米技术 冶金 图层（电子） 古生物学 化学 沉积物 生物 遗传学
作者
Niannian Ge,Caiping Wan,Wenhao Lu,Zhi Jin,Hengyu Xu
出处
期刊：Materials today communications [Elsevier]
日期：2024-07-01 卷期号：: 109989-109989
标识
DOI：10.1016/j.mtcomm.2024.109989
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