High-k Oxides on Si: MOSFET Gate Dielectrics

MOSFET 材料科学 电介质 高-κ电介质 栅极电介质 光电子学 工程物理 电气工程 工程类 晶体管 电压
作者
Takashi Ando,U. Kwon,Siddarth Krishnan,Martin M. Frank,V. Narayanan
出处
期刊:Materials and energy 卷期号:: 323-367 被引量:7
标识
DOI:10.1142/9789814740487_0007
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