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Creep, hysteresis, and vibration compensation for piezoactuators: atomic force microscopy application
压电致动器的蠕变、迟滞和振动补偿:原子力显微镜的应用
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期刊:Proceedings of the 2000 American Control Conference. ACC (IEEE Cat. No.00CH36334) 作者:D. Croft; G. Shedd; S. Devasia 出版日期:2002-11-08 |
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