Principles of Plasma Discharges and Materials Processing

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标题	[高分] Principles of Plasma Discharges and Materials Processing 等离子体放电原理与材料加工相关领域等离子体扩散材料科学等离子体处理原子物理学动能碰撞理论等离子体刻蚀粒子（生态学）化学沉积（地质）碰撞蚀刻（微加工）热力学物理纳米技术经典力学核物理学沉积物图层（电子）古生物学地质学海洋学生物计算机科学计算机安全
网址	https://onlinelibrary.wiley.com/doi/pdf/10.1002/0471724254
DOI	10.1002/0471724254 doi
其它	期刊：作者：Michael A. Lieberman; Allan J. Lichtenberg 出版日期：2005-04-28
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