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 Sputter-Deposited Mo Thin Films: Multimodal Characterization of Structure, Surface Morphology, Density, Residual Stress, Electrical Resistivity, and Mechanical Response 溅射沉积Mo薄膜：结构、表面形貌、密度、残余应力、电阻率和机械响应的多模态表征
相关领域
材料科学
薄膜
残余应力
纳米压痕
表面粗糙度
溅射
溅射沉积
微电子
复合材料
电阻率和电导率
薄板电阻
纳米技术
电气工程
工程类
图层（电子）
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| 其它 |
期刊：Integrating materials and manufacturing innovation 作者：Matias Kalaswad; Joyce O. Custer; Sadhvikas Addamane; Ryan M. Khan; Luis Jauregui; et al 出版日期：2023-04-24 |
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