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 Preparation of pure hydrogenated amorphous silicon film via PECVD method as anode materials for high-performance lithium-ion batteries 高性能锂离子电池负极材料PECVD法制备纯氢化非晶硅薄膜
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期刊：Solid State Ionics 作者：Binbin Shi; Yue Zou; Guojun Xu; Chuanbin Tu; Chenxin Jin; et al 出版日期：2023-10-09 |
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