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The effects of film thickness on the electrical, optical, and structural properties of cylindrical, rotating, magnetron-sputtered ITO films
薄膜厚度对圆柱形旋转磁控溅射ITO薄膜电学、光学和结构性能的影响
相关领域
材料科学 扫描电子显微镜 溅射沉积 腔磁控管 溅射 透射电子显微镜 薄膜 衍射 光学 光电子学 电极 复合材料 纳米技术 化学 物理 物理化学
网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2018.01.318
DOI
10.1016/j.apsusc.2018.01.318 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Jae Ho Kim; Tae‐Yeon Seong; Kyung-Jun Ahn; Kwun-Bum Chung; Hae‐Jun Seok; et al
出版日期：2018-02-02
求助人
韩大大 在 2024-12-16 16:13:17 发布自北京，悬赏 10 积分
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