Correlation of PECVD SiOxNy dielectric layer structural properties and Si/SiOxNy/Al capacitors interface electrical properties

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标题	Correlation of PECVD SiOxNy dielectric layer structural properties and Si/SiOxNy/Al capacitors interface electrical properties PECVD SiOxNy介质层结构特性与Si/SiOxNy/Al电容器界面电学性能的相关性相关领域材料科学电容器等离子体增强化学气相沉积电介质图层（电子）复合材料光电子学电气工程硅工程类电压
网址	https://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2005.11.076
DOI	10.1016/j.jnoncrysol.2005.11.076 doi
其它	期刊：Journal of Non-Crystalline Solids 作者：Katia F. Albertin; I. Pereyra 出版日期：2006-03-23
求助人	董醉山在 2024-11-15 13:39:08 发布自浙江，悬赏 10 积分
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