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 Novel forksheet device architecture as ultimate logic scaling device towards 2nm 新型forksheet器件架构作为迈向2nm的终极逻辑扩展器件
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期刊：2019 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM) 作者：P. Weckx; J. Ryckaert; E. Dentoni Litta; D. Yakimets; P. Matagne; et al 出版日期：2020-02-14 |
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