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Wafer-Scale Growth of a MoS2 Monolayer via One Cycle of Atomic Layer Deposition: An Adsorbate Control Method
通过一个原子层沉积循环的MoS2单层的晶片规模生长:吸附质控制方法
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期刊:Chemistry of Materials 作者:Dae‐Hyun Kim; Jae Chan Park; Jeongwoo Park; Deok‐Yong Cho; Woo‐Hee Kim; et al 出版日期:2021-05-27 |
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