Effects of LPCVD-deposited thin intrinsic silicon films on the performance of boron-doped polycrystalline silicon passivating contacts

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标题	Effects of LPCVD-deposited thin intrinsic silicon films on the performance of boron-doped polycrystalline silicon passivating contacts LPCVD沉积本征硅薄膜对硼掺杂多晶硅钝化触头性能的影响相关领域材料科学多晶硅钝化化学气相沉积纳米晶硅硅非晶硅结晶晶界无定形固体兴奋剂晶体硅光电子学化学工程纳米技术复合材料图层（电子）微观结构结晶学薄膜晶体管化学工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.solener.2023.112078
DOI	10.1016/j.solener.2023.112078 doi
其它	期刊：Solar Energy 作者：Yang Chen; Xiajie Meng; Fan Jian-bin; Mingzhang Deng; Haoran Ye; et al 出版日期：2023-10-11
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