Effects of mechanical agitation and surfactant additive on silicon anisotropic etching in alkaline KOH solution

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标题	Effects of mechanical agitation and surfactant additive on silicon anisotropic etching in alkaline KOH solution 机械搅拌和表面活性剂添加剂对碱性KOH溶液中硅各向异性刻蚀的影响相关领域蚀刻（微加工）材料科学硅肺表面活性物质表面粗糙度化学工程水溶液反应离子刻蚀润湿复合材料分析化学（期刊）化学冶金色谱法有机化学图层（电子）工程类
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S09244...
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？ AI识别 10.1016/j.sna.2004.07.015 doi
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