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 Atomic Layer Deposition of Cobalt Film from Dicobalt-hexacarbonyl-tert-butylacetylene and Hydrogen 六羰基叔丁基乙炔和氢原子层沉积钴薄膜
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期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Jun Yamaguchi; Noboru Satô; A. Tsukune; Takeshi Momose; Yukihiro Shimogaki 出版日期：2023-10-30 |
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