Silicon MEMS inertial sensors evolution over a quarter century - 科研通

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标题	Silicon MEMS inertial sensors evolution over a quarter century 硅MEMS惯性传感器四分之一世纪的演变相关领域微电子机械系统四分之一（加拿大硬币）惯性参考系硅硅谷惯性测量装置工程类电气工程光电子学航空航天工程机械工程材料科学物理地理业务考古财务量子力学创业
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6439/ac0fbf
DOI	10.1088/1361-6439/ac0fbf doi
其它	期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：Giacomo Langfelder; Marco Bestetti; Marco Gadola 出版日期：2021-07-14
求助人	清脆世界在 2024-12-27 12:13:58 发布自陕西，悬赏 10 积分
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The American Association of Immunologists(AAI)

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