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![]() 分子玻璃光致抗蚀剂中酸反应扩散动力学的结构效应
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期刊:Chemistry of Materials 作者:Jing Sha; Jin‐Kyun Lee; Shuhui Kang; Vivek M. Prabhu; Christopher L. Soles; et al 出版日期:2010-04-20 |
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