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 Optical properties of stepped-cone silicon nanostructures fabricated by nanosphere mask and RIE method 纳米球掩模和RIE法制备阶梯锥硅纳米结构的光学性能
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期刊：Materials technology 作者：Yufang Li; Kai Gao; Binbin Xu; Quntao Tang; Honglie Shen 出版日期：2021-01-25 |
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