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 Degradation of NO-nitrided SiC MOS interfaces by excimer ultraviolet light irradiation 准分子紫外光辐照对非氮化SiC MOS界面的降解
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期刊：Applied Physics Express 作者：Hiroki Fujimoto; Takuma Kobayashi; Mitsuru Sometani; Mitsuo Okamoto; Takayoshi Shimura; et al 出版日期：2022-09-16 |
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